深圳市十大免费黄色软件光电股份有限公司

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    中小尺寸光罩

    主要应用领域: 1.IC/IC bumping用掩模版; 2.MEMS、LED、分立器件用掩模版; 3.光器件、光通讯用掩模版。

    1. 详细信息

    铬版精度(Standard Size:6inch Quartz)

    Item/ClassABCDEFG
    Min.Line/Space
    Width on Wafer(4X)
    >1.0um1.0um0.8um0.5um0.35um0.2um0.15um
    CD MTT±0.3um±0.25um±0.2um±0.15um±0.1um±0.06um±0.05um
    CD Range0.4um0.3um0.25um0.2um0.15um0.06um0.05um
    Registration Accuracy±0.3um±0.25um±0.2um±0.15um±0.1um±0.08um±0.06um
    Overlay Accuracy±0.3um±0.25um±0.2um±0.15um±0.1um±0.08um±0.06um
    Defect Size<1.5um<1.0um<0.75um<0.5um<0.5um<0.4um<0.2um


    铬版材料 (Photomask blank phate) 

    材料

    Soda Lime GlassQuartz

    常规尺寸

    3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

    厚度

    1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

    6.35±0.2mm (QZ)

    铬膜

    Low Reflectance Chrome

    光学密度 (λ=450nm)

    Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

    反射率 (λ=436nm)

    Between Plates10±5% In Plate±2%

     


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